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电子无尘车间的气流特点
时间:2022-01-07

检查电子无尘车间工作正常所进行的各项测试中,其中一项就是对室内气流的检查。这是整个测试程序的重要组成部分。为了稀释或消除室内的悬浮污染,从而防止污染在室内的积累,室内必须有充分的气流流动所以对气流必须进行检测。

在紊流洁净室中,风的输送和混合都是紊流方式进行的。为确保污染物被清楚,电子无尘车间的各个部分必须均实现良好的空气混合。在单向流净化车间中,为保证关键区域达到理想洁净的水平,其送风直接来自高效过滤器。
电子无尘车间垂直层流式方向要保持均一气流必须:
吹出面的风速不可有速度上的差异;
地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高均有涡流之现象发生,而之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在之间。
影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
电子无尘车间一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
 

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